• X
  • facebook
  • line

共同通信PRワイヤー

半導体の微細加工ダメージを診る

2024/08/28 14:00

  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所

プラズマ加工による劣化を定量評価

ポイント
・ 半導体素子の劣化を引き起こすダメージを太陽電池の測定手法を用いて定量評価
・ 半導体素子内のシ…

◀◀ ・・・ 1266 1267 1268 1269 1270 ・・・ ▶▶